2010-01-18から1日間の記事一覧

薄膜における応力発生メカニズムと膜応力・密着力測定のポイント

スパッタリング法により形成した金属・無機系薄膜の例を中心に、薄膜の応力と密着性・剥離に関わるに基本的な概念から、実際の測定解析技術のノウハウまでを解説!薄膜における応力発生メカニズムと膜応力・密着力測定のポイント共催:R&D支援センター日時…