2010-05-18から1日間の記事一覧

スパッタリング法による薄膜作製技術と内部応力発生メカニズムとその

各種スパッタ法の特性・用途展開、改善事例!高速成膜技術、カソード技術、薄膜の応力の考え方やその発生メカニズムを整理し、実例を解説!スパッタリング法による薄膜作製技術と内部応力発生メカニズムとその制御主催:R&D支援センター日時:平成22年6月…