スパッタリング法により形成した薄膜の密着性に関わる基本的な概念から評価方法、剥離抑制の手法を詳説！スパッタリング法による薄膜作製のポイントと薄膜の応力発生メカニズムと密着性の改善主催：Ｒ＆Ｄ支援センター日時：2011年3月11日（金） 10：30〜16…