スパッタリング法による薄膜作製のポイントと薄膜の応力発生メカニズムと密着性の改善

スパッタリング法により形成した薄膜の密着性に関わる基本的な概念から評価方法、剥離抑制の手法を詳説！

主催：Ｒ＆Ｄ支援センター

日時：2011年3月11日（金）　10：30〜16：30

＜講座のポイント＞
本セミナーでは、スパッタリング法により形成した金属･無機系薄膜の例を中心に、薄膜の密着性に関わる基本的な概念から評価方法、剥離抑制の手法に至るまで、できるだけ