Czochralski(CZ)法におけるGrown-in欠陥、酸素析出、ゲッタリングや転位などに関する研究とそれを基に開発された制御技術を紹介する。また、第一原理計算や数値シミュレーションを用いた最先端の欠陥制御技術についてもわかりやすく解説！シリコン材料におけ…