硬さ・弾性率・降伏強度・粘弾性・密着性・熱応力などの薄膜機械物性の評価について、基礎からこれら物性値の真意を明らかにし、最先端の定量計測技術までしっかり解説！薄膜機械物性・密着性の最新計測技術と評価方法主催：Ｒ＆Ｄ支援センター日時：2013年1…