精密洗浄技術の基礎と残存汚れの定量化および評価方法

講師：日立プラント建設サービス(株)　空調・プラント本部　洗浄装置部　顧問　平塚　豊　氏

日時：平成21年9月28日（月）10：30〜16：30

≪プログラム≫
１．洗浄プロセス構築のための要素
２．洗浄のメカニズムとは？
　　2-1　汚れの除去原理
　　2-2　洗浄のプロセス
　　2-3　汚れの付着力（ファンデルワールス力）
　　2-4　再付着防止（ゼータ電位）
　　2-5　界面活性剤の作用2-6　ｐHと酸化還元電位

３．洗浄剤の種類とその特徴を学ぶ！
　　3-1　水系洗浄剤　　　　
　　3-2　機能水　　　　
　　3-3　非水系洗浄剤（可燃性、不燃性）　　　　
　　3-4　準水系洗浄剤
４．代表的洗浄手法
　　4-1　ブラシ洗浄　　　　
　　4-2　噴射洗浄（二流体ジェットを含む）　　　　
　　4-3　超音波洗浄　　　　
　　4-4　光洗浄（UV/オゾン、エキシマランプ、レーザー洗浄）　　　　
　　4-5　マイクロバブル洗浄
５．リンス水の削減とリサイクル
６．乾燥技術
　　6-1　加熱乾燥　　　　
　　6-2　遠心乾燥　　　　
　　6-3　蒸気乾燥　　　　
　　6-4　マランゴニ乾燥
７．洗浄評価の目的は洗浄効果の確認
８．簡便洗浄評価法
　　8-1　水濡れ性の利用（水切り法など）　　　　
　　8-2　接触角測定　　　　
　　8-3　拭き取り法
９．光散乱法による付着粒子計数法
10．有機汚れの定量法
　　10-1　溶剤抽出紫外吸光度法　　　　
　　10-2　加熱脱着ガスクロ(質量分析）法
11．金属汚れの定量法
　　11-1　表面層溶解フレームレス原子吸光法　　　　
　　11-2　表面層溶解ICP-MS法　　　　
　　11-3　全反射蛍光X線分析法　　　　
　　11-4　二次イオン質量分析法（SIMS、TOF-SIMS）
12．残存無機イオンの定量法（イオンクロマト法）
【質疑応答・名刺交換】