クリーン領域の確保と維持および改善
省エネ化に対応したクリーンエリア・クリーンルームの維持・管理・改善の対策指針を詳解!
主催:R&D支援センター
日時:平成22年2月19日(金) 10:30-16:30
《講座趣旨》
全世界・全産業で進む省エネルギーの奔流の中で,今や,クリーンルーム やクリーンゾーンへの清浄度の要望は,“必要な場所(エリア)に,過不足のない清浄度レベルで”というのがあたりまえになってきている.
しかしながら,製品の動線廻りに,このような状態を適正に確保し,かつ維持するにはどうしたらよいのであろうか?
本講演では,ニーズの高いと思われるこの課題に例を示しつつ切り込んでみる.
クリーン化の業務に携わっている全ての方々を対象に,経験と実績に基づいた重要ポイントを説明し,さらに,汚染の実態を目で見ることにより”正しい危機感”を持っていただき,それに対する対策指針も示す(動画・図表・写真の具体例を示しながら,わかりやすく進めます).
※専門用語は進行に伴い随時説明します。
《プログラム》
1.清浄度の再確認,及び誤解の解消
(1)清浄度のイメージと定義 (クラス10,000とは?)
(2)規格は均一? 現実は不均一?
2.クリーンエリア内の気流の実状
(1)クリーンエリア内の気流の流れ
(2)模擬製造装置廻りの気流
3.クリーンエリア内の塵埃・ミストの実状
(1)基本的な性質(気流との関係,拡散範囲)
(2)物や運動機構からの発塵
4.クリーンエリア内の作業員管理と教育
(1)守るべき大原則
(2)適正な着用
(3)人の位置取り・適正な動作
(4)管理・教育の要点/注意点
(5)人からの発塵機構(内圧変動,摺動発塵,拡散範囲)
(6)クリーンスーツの選定方法・洗濯頻度・劣化
(7)クリーン手袋の扱い
(8)エアシャワーの効果
5.局所高清浄度域の確保と維持
(1)給排気バランスと流線の制御
(2)クリーンベンチ内とその周辺気流の制御
(3)異風速吹出し
(4)垂直一方向流域と非一方向流域との境界(気流性状,塵埃拡散)
(5)各種吹出口による気流性状,除塵能力
(6)可搬式クリーンブースの clean up 特性
(7)FFU吹出しゾーン内の清浄度確保と維持
(8)室間差圧(気流性状,風速分布,塵埃拡散)
(9)まとめ
6.さらなる清浄化への指針(対策)
(1)微小塵埃/ミスト/気流を見える化(可視化)→ そして対策へ
(2)普遍的な対策コンセプト
(3)回避/除去/抑制の手順と考え方
(4)汚染対策の要点 → 製品の歩留まり改善へ
7.製造環境改善事例
(1)模擬機器または作業台廻りの気流性状改善
(2)クリーンベンチ奥の滞留解消
(3)クリーンベンチ内テーブルの改善
(4)狭い領域の清浄化
8.クリーンエリアの清掃
(1)清掃の種類
(2)各部位の清掃方法・頻度・注意点
(3)クリーンルーム運転停止時の塵埃挙動化
9.クリーンルームの省エネルギー
(1)エネルギーフロー解析
(2)消費エネルギーの構成分析
(3)手法の系統分類
(4)省エネ項目
(5)クリーンルームだけにこだわるな
(6)エネルギーのトレード
(7)省エネの要点
10.クリーン化技術の国内外関連規格の最新動向
ISO規格,JACA指針,JIS規格など.
表面清浄化のコンセプト,清浄化の対象範囲,汚染とその原因.
11.参考文献紹介
初級〜上級者向けまで、主要なものを表紙画像と内容も含め紹介.
【質疑応答】