Excelで学ぶ薄膜エリプソメトリ測定
偏光現象、エリプソメーターの動作原理、薄膜における反射過程、薄膜構造解析方法を解説！
主催：Ｒ＆Ｄ支援センター
日時：平成22年5月21日（金）10：30〜16：30
≪講座趣旨≫
薄膜エリプソメトリは，試料の反射光の偏光情報から薄膜の厚さと複素屈折率を「決定」する方法です。非破壊で簡便に多くの情報が得られますから，薄膜解析の強力な手段といえます。
意義のあるエリプソメトリ測定を行うためには、偏光の現象を正しくきちんと理解する必要があります。本講では、偏光現象、エリプソメーターの動作原理、薄膜における反射過程、薄膜構造解析方法を理解します。特に、Excel(TM)ワークシートを用いた実習により体得を図ります。
≪プログラム≫
１．エリプソメトリと偏光
1-1 薄膜エリプソメトリ
1-2 偏光と位相差
1-3 光の屈折と反射
1-4 ジョーンズベクトル、ストークスベクトル、ポアンカレ球
２．エリプソメーター、分光エリプソメータの基本構成
2-1 偏光ベクトル演算
2-2 ジョーンズ表現、ミューラー表現
2-3 各種エリプソメーターの偏光表現
2-4 エリプソメーターの動作原理
３．偏光解析の原理
3-1 光の屈折と反射
3-2 単層薄膜からの反射
3-3 膜厚，屈折率測定の原理
3-4 誘電関数
3-5 有効媒質近似
４．薄膜解析の実例
4-1 絶縁膜
4-2 金属薄膜
4-3 表面変成層，ラフニング
