ロールtoロールによる成膜技術の課題と解決策【大阪講座】

ロールツーロール方式による機能性フィルムの研究から生産にいたる技術開発，現場における製造管理，本分野の課題と解決の手がかりを詳細解説！

≪1名分料金で2人目無料≫

主催：Ｒ＆Ｄ支援センター

日時：平成22年6月8日（火）　10：30〜16：30

≪講座趣旨≫
要求される性能と耐久性を満足する枚葉での開発結果を，ロールｔｏロール方式に拡張する場合、単なるスケールアップだけでなくロール状のプラスチックフィルムを使用することによる装置やプロセスなどに大きな課題に直面する。これらの課題は実務経験の科学的分析を通して普遍的な知識として体系化することにより克服できるものと考えるが，現時点では現場のノウハウや暗黙知により行われることが多い。
　本セミナーにおいては、ロールｔｏロール方式による機能性フィルムの研究から生産にいたる技術開発，現場における製造管理など３０数年におよぶ経験に基づく知見を整理・分析することで，本分野の課題と解決の手がかりを解説する。

≪プログラム≫
１．ロールtoロールの概要
　　1.1　ロールtoロールによる成膜とは
　　1.2　ロールtoロールのメリット、デメリット
　　1.3　成膜法の種類と特徴・長所/短所

２．ロールtoロールプロセス開発のポイントと問題点
　　2.1　ロールtoロールプロセスの開発のポイント
　　2.2　膜形成プロセスと基本パラメタ制御
　　2.3　大面積基板への拡張
　　2.4　付着力の改善

３．ロールtoロールｃ要素技術
　　3.1　巾方向・流れ方向の膜厚、組成、構造の均一性制御
　　3.2　基板への熱流解析
　　3.3　成膜中のフィルム挙動，熱負け制御

４．ロールtoロール成膜装置・製造要素技術
　　4.1　成膜シミュレーション技術
　　4.2　カソードおよびターゲット設計
　　4.3　成膜速度の限界、コスト、収率
　　4.4　欠陥（膜外観や膜無し部分）の発生対策
　　4.5　インライン測定による検査

【質疑応答・名刺交換・個別相談】

キーワード：フィルム,シート,ロール・ツー・ロール,巻取,巻出,成膜,膜厚