ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜の成膜技術、分類および応用展開

黒いDLCの時代から色つきDLCの時代へ。水素フリー・スーパーハードDLCの魅力を知り、応用を探ろう！

〜水素フリー、スーパーハードDLC膜、応用事例〜

主催：Ｒ＆Ｄ支援センター

日時：2011年2月24日（木）　13：00〜16：30

＜講座趣旨＞
まず、DLC膜とは何か、どんな成膜方法があるのか、どんな応用があるのか、を全般的に説明します。その後、近年応用事例が増えてきている水素フリー・スーパーハードDLC膜の成膜方法・技術および応用について紹介します。

＜プログラム＞
１．ダイヤモンドライクカーボン膜の作り方、分類、特徴
　　1-1　表面処理

　　1-2　DLC膜の各種成膜方法

　　1-3　DLC膜の分類

　　1-4　DLC膜の特徴

２．フィルタードアーク蒸着法
　　2-1　真空アーク蒸着法

　　2-2　フィルタードアーク蒸着法

　　2-3　T字状フィルタードアーク蒸着装置

　　2-4　スーパーハードDLCの作り方

３．スーパーハードDLCの応用
　　3-1　スーパーハードDLCの特性

　　3-2　工具への応用

　　3-3　金型への応用

　　3-4　摺動部材への応用

　　3-4　ゴムへの応用

　　3-5　その他