プラスチックフィルムの表面改質と機能性薄膜の創成

薄膜の構造、摩擦・摩耗特性、さらには薄膜のセンサーへの応用例など詳解！

〜薄膜の機械特性・密着性向上・デバイス応用〜

日時：2011年8月23日（火）　12：30〜16：30

[講座のポイント]
ごく薄い膜（薄膜）をコーティングする技術の一つに、気相蒸着法があり、スパッタリングなどの物理気相蒸着法により形成した有機薄膜においては、原材料とは異なる特性を示すことがあります。本講座では、付着強度向上のための手法を紹介すると共に、種々の手法により金属基板上に形成した有機薄膜を例に、薄膜の構造、摩擦・摩耗特性、さらには薄膜のセンサーへの応用例について紹介します。

[プログラム]
１．プラスチックフィルムの表面改質技術
　　1-1.表面改質技術
　　1-2.付着強度評価法
２．薄膜形成技術
　　2-1.種々の薄膜形成技術
　　2-2.気相反応を利用した薄膜形成技術
　　2-3.物理気相蒸着法によりプラスチックフィルム上に形成した薄膜
　　　　2-3-1.機能性金属薄膜
　　　　2-3-2.機能性無機薄膜
　　　　2-3-3.機能性有機薄膜
３．薄膜の機械特性
　　3-1.有機薄膜の力学特性
　　3-2.有機薄膜の摩擦・摩耗特性
　　3-3.有機薄膜の付着性
４．薄膜センサーへの応用
　　4-1.揮発性有機溶剤（VOC）センサーへの応用
　　4-2.活性酸素センサーへの応用
　　　　「水晶微小天秤法を応用した新しい活性酸素検出モニター」
５．まとめ
　　5-1.質疑応答・個別相談など

（質疑応答・名刺交換・個別相談）