初心者にも分かる！クリーンルームの基礎知識

初めてクリーンルームに携わる人のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説する！

日時：2012年5月30日（水）　10：30〜16：30

【講座の趣旨、ポイント】
　クリーンルーム技術の発展は、半導体製造用クリーンルームが牽引してきたといっても過言ではなく、これまで様々な汚染問題の検証や技術の開発がなされてきました。これらは、先人達が苦労して築き上げてきたものであり、論文や書籍等で伺い知る事ができます。一方、クリーンルームは様々な産業で使用されるようになってきているものの、各社でクリーン化を担当している方々におかれては、クリーンルームの基本的な維持管理など、相談する相手がいなかったり、先に述べた論文・書籍等を知らなかったり、様々な点で苦労していることが多いと思われます。

　本セミナーは、初めてクリーンルームに携わる人のほか、クリーンルームに関わる技術を一度体系的に学びたい方を対象に、クリーンルームの基礎知識を分かりやすく、動画や実データを用いて解説する予定です。

　つきましては、日頃の業務に役立てて頂きたく、ぜひ本セミナーにご参加下さいますよう、お願い申し上げます。

【プログラム】
1.はじめに
2.クリーンルームの概要
　　・クリーンルームとは
　　・非一方向流と一方向流の違い（動画による比較）
　　・クリーンルームの指針や規格
　　・清浄度の決定・計算方法
3.クリーンルームの気流制御・局所化
　　・微粒子の挙動
　　・気流制御の要点（動画による解説）
　　・吸込口の位置影響
　　・グレーチングの効果
4.クリーンルームの維持管理
　　・モニタリング
　　・作業者の管理、発塵源
　　・クリーンルームの清掃
5.ケミカル汚染対策
　　・ケミカル汚染とは
　　・測定方法と注意事項
　　・汚染対策（脱ガス、湿式除去方式の要点、既設改造時の注意事項）
　　・対策事例（有機フリーCR、イオンフリーCR）
6.イオナイザの発塵対策
　　・静電気対策の概要
　　・イオナイザの種類と特徴
　　・コロナ放電式イオナイザからの発塵とその対策
　　・軟X線イオナイザ
7.クリーンルームの省エネルギー
　　・主な省エネ手法
　　・省エネ事例（気化式加湿を利用した外気処理、低湿度対応CRの省エネ）
（質疑応答・名刺交換・個別相談）