これからエッチングを始めようとする人、始めて２〜３年でエッチングプラズマを理解したい人向けに、現在問題となっている、ArFレジストのLER、LWRおよびporous Low-kエッチングについてどう対処するかについて 一つの提案を行う！ ドライエッチングの基礎と…