2010-10-29から1日間の記事一覧
実際のエッチング対象毎に反応機構からプロセス構築のポイントを解説することで、開発や生産現場で役に立つ情報を提供する。また、それを支える計測技術、評価技術についても解説し、エッチング技術の全体像を理解できる講義とする！半導体デバイス製造にお…
実際のエッチング対象毎に反応機構からプロセス構築のポイントを解説することで、開発や生産現場で役に立つ情報を提供する。また、それを支える計測技術、評価技術についても解説し、エッチング技術の全体像を理解できる講義とする！半導体デバイス製造にお…
