スパッタリング法による薄膜作製のポイントを基礎的な物理現象から分かりやすく解説！スパッタリング法による薄膜作製とそのポイント 〜原理・成膜条件・膜構造・膜質・密着性・基板へのダメージ〜主催：Ｒ＆Ｄ支援センター日時：平成22年11月29日（月） 10…