SiCデバイスの高性能化に向けたエッチング、鏡面研磨技術を紹介！！ＳｉＣ基板のエッチング技術と平滑化〜ＳｉＣデバイス高性能化に向けた〜主催：Ｒ＆Ｄ支援センター日時：2012年5月31日（木） 12：30〜16：30【受講対象】 半導体産業関連、電子産業関連、…