シランカップリング剤の反応機構と上手な使い方

【講座趣旨】
 シランカップリング処理は、電子デバイス産業などで固体表面の代表的な疎水化処理技術として、多くの分野で用いられてきています。本講座では、HMDS(ヘキサメチルジシラザン)を中心に、付着、密着、濡れ、コーティングの制御法について多くの実験データに基づき説明します。また、表面エネルギーなどの様々な評価法、および処理装置について丁寧に説明します。また、実際のトラブル解析および技術相談にも応じます。
【プログラム】
【基本編】シランカップリング処理の本質を理解する!!
1.シランカップリング処理の効果を定量化する
  (処理温度、処理時間、飽和蒸気処理、装置の最適化)
2.シランカップリング表面を使いこなす
  (分散・極性解析、濡れエネルギーWa、溶液浸透解析、拡張係数S、円モデル)
3.シランカップリング表面の理解を深める
  (吸着力解析、相互作用解析、各種化学分析
【応用編】実際の現場での適用力を養う!!
1.固体の付着性をコントロールする
  (パターン剥離、ポッピング現象)
2.溶液中での界面密着性をコントロールする
  (液中剥離の抑制効果)
3.塗膜のコート性をコントロールする
  (局所濡れ不良、粘性指状変形VF、凹凸パターン)
4.液滴と気泡の付着性をコントロールする
  (液滴成長制御と気泡付着性の制御)
5.表面を高品位にコントロールする
  (プラズマ処理、アルカリ処理との複合処理) <質疑応答>(技術相談、日頃のトラブル相談に応じます)