クリーンルーム／クリーンエリアのわかりやすい維持・管理・改善　セ

主催：Ｒ＆Ｄ支援センター

日時：平成21年10月8日（木）10：30-16：30

≪講座趣旨≫
クリーン化の業務に携わっている方々を対象に，クリーンルームやクリーンエリアを適正に維持・管理し，そして必要に応じてどのように改善すべきか，経験と実績に基づいた重要なポイントを説明します。さらに，汚染の実態を目で見ていただき，”正しい危機感”を持っていただくようにします。

内容は大きく，
　・清浄度の正しい認識と，塵埃の性質・挙動
　・クリーン環境内の作業員管理と教育
　・さらなる清浄化への対策指針
の順で，動画・図表・写真の具体例を示しながら，わかりやすく進めます。また，清掃，関連規格の動向，各種参考文献についても触れます。

※専門用語は進行に伴い随時説明します

≪プログラム≫
１．クリーンルーム／クリーンエリアを再認識する
　　　　・清浄度を実感する
　　　　・よく使用される清浄度クラス
　　　　・ISO清浄度クラス
２．塵埃の性質・挙動
　2-1 気流との関係，拡散範囲
　　　　・空気中での微小粒子の移動
　　　　・塵埃拡散範囲（汚染範囲）
　2-2 物からの発塵
　　　　・衣類の摺動による発塵
　　　　・製造装置内の稼働機構からの発塵
３．クリーン環境内の作業員管理と教育
　3-1 大原則
　3-2 クリーンスーツ着衣人体からの発塵機構
　　　　・袖口，手袋からの発塵
　　　　・スーツ内の圧力変動
　　　　・スーツを通しての発塵
　　　　・腕振り・足踏みによる発塵状況・拡散範囲
　3-3 人の位置取り・適正な動作について
　　　　・人の動作・位置について
　　　　・作業者の認識，規律と行動
　　　　・教育・訓練項目・訓練方法
　3-4 クリーンスーツの選定，洗濯頻度
　　　　・選定の要件・方法
　　　　・フィルタ効率と発塵量
　　　　・劣化と洗濯頻度
　3-5 クリーン手袋の扱い
　　　　・クリーン手袋は上か下か？
　3-6 エアシャワーの効果のほどは？
４．さらなる清浄化への指針（対策）
　4-1 微小塵埃／ミスト／気流を見える化 → そして対策へ
　　　　・まず対象を捉える（測定の実際）
　4-2 普遍的な対策コンセプト
　4-3 除去／抑制の手順と考え方
　　　　・汚染機構の解明
　　　　・模擬作業による汚染状況の把握
　　　　・より良いクリーン環境のために
　4-4 改善事例に学ぶ → 歩留まり改善へ
　　　　・気流の流線の改善
　　　　・滞留の解消
　　　　・テーブル仕様の影響
５．クリーンルームの清掃
　5-1 清掃の種類
　　　　・種類と方法
　　　　・市販ワイパーの例
　5-2 各部位の清掃方法･頻度
　　　　・特定表面の清掃
　　　　・製造装置のクリーニング
　5-3 表面清浄化のコンセプト・対象範囲
６．クリーンルームの国内外関連規格の最新動向
　　　　・各種規格の動向・相関
　　　　・ISO14644・14698規格，JIS規格，JACA指針

【質疑応答・個別質問・名刺交換】