産業洗浄の基礎と応用例
洗浄システムの事例を紹介し、汚れを除去するだけでなく表面処理としての洗浄や、次工程で性能を出すための注意点、評価方法についても解説!
〜エレクトロニクス産業の製造プロセスにおける洗浄技術のポイント・評価方法〜
主催:R&D支援センター
日時:平成22年9月17日(金) 13:00〜16:30
≪講座趣旨≫
●洗浄の基礎
洗浄は製造工程において非常に重要なプロセスだが、より高品質の洗浄が求められたり、環境対策として代替洗浄が必要であったり、コストダウンのための工程変更などの理由で、洗浄方法の変更が必須となり悩んでおられる方も多いと思われる。
このセミナーでは、洗浄のメカニズム、各種洗浄剤の特徴、汚れの種類に応じた洗浄方法及び洗浄評価方法について解説する。
●産業洗浄に使用されている主な洗浄剤と洗浄装置
各種洗浄剤および洗浄装置についてそれぞれの特徴と使用されている分野について紹介する。また、それぞれの洗浄剤についてどのような洗浄システムが使用されるか紹介、解説する。
●エレクトロニクス産業を事例に洗浄システムの導入例、評価方法について
エレクトロニクス産業で使用されている洗浄システムの事例を紹介し、汚れを除去するだけでなく表面処理としての洗浄や次工程で性能を出すための注意点、評価方法について紹介、解説する。
≪プログラム≫
1.洗浄の基礎理論
1-1 3種の洗浄メカニズム(分離型洗浄・溶解型洗浄・分解型洗浄)
1-2 汚れの分類(水溶性汚れ、油性汚れ、固体汚れの分類と性質)
2.洗浄剤の種類と特徴(洗浄システム)
2-1 水系洗浄剤(界面活性剤、アルカリ洗浄剤、酸系洗浄剤等)
2-2 準水系洗浄剤(準水系洗浄剤の種類とそれぞれの性質)
2-3 非水系洗浄剤(溶剤の種類と性質、使用上の注意点等)
3.洗浄装置
3-1 洗浄装置の種類と特徴(超音波、高圧噴流等)
3-2 各種汚れ除去に適した洗浄方法(各種汚れ別の洗浄方法の紹介)
4.洗浄に必要な周辺機器
4-1 蒸留再生装置
4-2 純水再生装置
4-3 油水分離装置
4-4 濃度管理装置
5.清浄度の評価方法
5-1 外観評価(目視評価、表面反射率による評価、画像データからの評価等)
5-2 汚れの化学分析(有機汚れの各種化学分析、無機汚れの各種化学分析)
5-3 洗浄コストシミュレーション
6.エレクトロニクス産業における洗浄事例
6-1 半導体パッケージ製造工程における洗浄事例
6-2 ハードディスク製造工程における洗浄事例
6-3 環境問題と代替洗浄の動向
6-4 洗浄システムの今後のトレンド
【質疑応答・名刺交換・個別相談】