材料・プロセス開発のための表面・深さ方向分析技術

現代社会を支配する表面、界面の真の姿を明らかにする！基礎から応用・活用までを事例を交えながら詳細に解説！

主催：Ｒ＆Ｄ支援センター

日時：2011年3月24日（木）　13：00〜16：30

＜講座のポイント＞
現代は、工業材料から半導体、医療分野まで、様々な材料やプロセスが研究開発され、実際に利用されている。それらは文字通り多種多様で多岐に亘っているが、共通するものとして「表面」がそのほとんど全てと関わっていると言って良い。そして、撥水性や反射など表面そのものが直接的に最終特性を左右するものはもちろん、薄膜や多層膜の形成など界面が関わるものもその根源は表面が関わっていると言える。すなわち、極論すれば現代技術は表面が支配しており、言い換えるなら、表面を支配できれば現代技術を支配できるとも表現できる。また、表面はもちろん、膜や界面、そして近年注目されている傾斜材料や複合材料など様々な新規材料においては深さ方向分析も欠くことはできない。

　本講演では、分かっているようで実はその奥は言葉とは裏腹に限りなく深い表面というものについての解説から、表面を支配する物性とコントロール、そして、その姿を明らかにするための分析評価技術と実際に分析する上での注意点やノウハウを詳細に解説する。また、表面に限らず、表面分析と一対を成す深さ方向分析、そして、その真の姿を知ることが極めて難しい界面を知ることや、研究開発の考え方や進め方についても実例を交えながら解説を行う。

＜プログラム＞
１．表面とは？
２．表面に支配される現代社会
　　2-1　表面が支配するもの

　　2-2　表面を支配するには？

３．表面分析の分類
４．表面分析成功のキーポイント
　　4-1　表面分析のタブー

　　4-2　試料の取り扱い

　　4-3　表面分析の考え方

５．表面を知るための分析法とその特徴、活用法
　　5-1　組成を知る

　　5-2　構造を知る

　　5-3　形態を見る

　　5-4　物性を知る

　　5-5　その他

６．深さ方向分析
　　6-1　深さ方向分析のアプローチ

　　6-2　深さ方向分析の種類と特徴

　　6-3　深さ方向分析の考え方

　　6-4　界面分析

　　　　①　界面分析のイメージ

　　　　②　界面評価の重要性

　　　　③　界面の例と分類

７．研究開発と分析の考え方
　　7-1　状況確認

　　7-2　実験フローの検討

　　7-3　分析方法の検討

　　7-4　データから必要な情報を引き出す

　　7-5　ゴールに到達

８．分析事例
９．質疑応答