ガラス鏡面研磨における酸化セリウム使用量低減技術

有機無機複合砥粒やエポキシ樹脂研磨パッド等の開発により酸化セリウムの使用量を削減し、酸化ジルコニウムによる代替できる新しい研磨技術を詳解！

〜新しい砥粒・研磨パッドの開発と平坦化・平滑化技術〜

主催：Ｒ＆Ｄ支援センター

日時：2011年8月24日（水）　12：30〜16：30

≪講座のポイント≫
遊離砥粒研磨においては、工作物と砥粒の相対速度が研磨能率に大きく影響する。砥粒の研磨パッドでの保持特性を向上するために、有機無機複合砥粒やエポキシ樹脂研磨パッド等の開発を行っている。そのことが酸化セリウムの使用量を削減し、酸化ジルコニウムによる代替を可能にしている。それら一連の技術について紹介する。

≪プログラム≫
１．ＮＥＤＯプロジェクトの概要
　　1-1.自己紹介
　　1-2.レアアースとしての酸化セリウム
　　1-3.酸化セリウムの砥粒としての特異性
　　1-4.ＮＥＤＯプロジェクトの概要
　　1-5.使用量削減の戦略
２．複合粒子研磨法と複合砥粒
　　2-1.複合粒子研磨法の特徴
　　2-2.複合粒子研磨法による削減技術
　　2-3.複合砥粒の特徴
　　2-4.複合砥粒を用いた研磨の加工条件依存性
３．高機能研磨パッドの開発
　　3-1.多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの特徴
　　3-2.エポキシ樹脂研磨パッドの加工条件依存性
　　3-3.工具機上再生と研磨パッドの表面処理技術
　　3-4.隙間調整型研磨パッドの特徴