透明導電膜の技術トレンド - 技術者・研究者向けセミナー

透明導電膜について、種類やその特徴を概観し、スパッタリング法による作製法と実用化において重要視される電気特性や光学特性、デバイスの熱設計に必要となる熱物性まで分かりやすく解説！

日時：2012年4月16日（月）　12：30〜16：30

【講座のポイント】
　透明導電膜は、液晶、有機EL等のフラットパネルディスプレータッチパネルおよび太陽電池等の環境技術分野において極めて重要な材料であり、近年種々の注目を集めています。特に、ITO代替の透明電極材料の研究開発、新しい有機エレクトロニクス分野への透明電極の適用のための研究開発は、極めて重要であると考えられてきています。

　本講座では透明導電膜について、種類やその特徴を概観し、作製法と薄膜の構造・物性を解説する。まず成膜法については、大面積への均一コーティングに極めて有用であるスパッタ法に注目し、焼結体ターゲットを用いたスパッタ法や合金ターゲットを用いた反応性スパッタ法について説明する。

　また実用化において重要視される電気特性や光学特性のみならず、デバイスの熱設計に必要となる熱物性についても詳細に述べる。

【プログラム】
１．透明導電膜に関する基礎
　　1-1．様々な透明導電膜とその特性
　　1-2．種々の透明導電材料に関する最新の話題

２．透明導電膜の成膜方法
　　2-1．スパッタ成膜法等、成膜プロセスの基礎
　　2-2．高速成膜に関する最新の話題

３．透明導電膜の熱物性
　　3-1．薄膜の熱物性測定法
　　3-2．様々な透明導電膜の熱物性と電気特性の相関

【質疑応答・名刺交換・個別相談】