微細三次元計測技術とその応用およびノウハウ

光干渉法を用いた微細三次元計測技術。フアインパターン化、光学部材の微細化に伴い一段と重要になってきている三次元計測のノウハウを修得し、製品開発へ活かそう！

共催：Ｒ＆Ｄ支援センター

日時：2011年6月9日（木）　10：30〜17：30

≪講座のポイント≫
半導体やフラットパネルディスプレイのファインパターン化、光学部材の微細化、MEMSやナノインプリント技術の進歩などを背景に、マイクロメータからナノメータのオーダーの微細三次元形状測定は、ますます重要になってきています。

　本講座では、各種の微細三次元表面形状測定法を比較したのち、光干渉法による表面形状や膜厚分布の測定技術を解説すると共に、数多くのサンプル測定の経験から得られた測定ノウハウを具体例を挙げながら紹介します。さらに、得られた三次元データの各種データ処理（粗さ測定など）や、最新のワンショット干渉計測技術について修得、講義では、PCに保存した干渉画像データを用いて表面形状測定のデモを行うので、実際の操作を模擬体験していただけます。

≪プログラム≫
１．ミクロ3次元計測入門
　　1-1 各種測定法の原理と特徴
　　　a．触針式
　　　b．光触針式
　　　c．SPM（AFM）
　　　d．光切断式
　　　e．共焦点顕微鏡
　　　f．光干渉式
　　1-2 各種測定法の性能比較
２．光干渉式表面形状測定装置の応用例とノウハウ
　　2-1 応用例
　　　a．半導体（マイクロバンプ、TSV、トレンチ、SiC、MEMS）
　　　b．FPD（カラーフィルタ、フォトスペーサ、有機EL）
　　　c．光学部品
　　　d．機械部品
　　　e．フィルム
　　　f．LED
　　　g．太陽電池
　　2-2 ノウハウ
　　　a．広視野測定法
　　　b．段差と急斜面の測定法
　　　c．広視野測定法
　　　d．超高精度測定法
　　　e．高速測定法
　　　f．校正法
　　　g．装置組み込み法
３．光干渉式表面形状測定装置による透明膜の測定
　　3-1 表面・裏面・膜厚同時測定の原理
　　3-2 透明厚膜の測定法
　　3-3 透明薄膜の測定法
　　3-4 プラスチック・フィルムの測定
　　3-5 屈折率の測定
　　3-6 膜厚と屈折率の同時測定
　　3-7 他の膜厚測定法との比較
４．三次元データ処理
　　4-1 三次元表示ソフト
　　4-2 欠測値補間とノイズ除去
　　4-3 平面補正と曲面補正
　　4-4 粗さパラメータ
　　4-5 形状計測（高さ、面積、体積など）
　　4-6 ステッチング（画像連結）
５．微細表面形状測定の最近の話題
　　5-1 ワンショット干渉計測
　　5-2 その他トッピクス