窒素を用いた薄膜形成技術とその効果　−表面硬化性、耐摩耗性、寿命の向上−

切削工具、エンドミル、回転機械、金型などを、より長寿命化、高機能化するための特別セミナー！

−表面硬化性、耐摩耗性、寿命の向上−

日時：2011年8月9日（火）　10：30〜17：30

[講師の言葉]
窒素は大気中に最も多く存在する元素であり、環境負荷の低い元素として様々な分野で用いられています。表面改質の分野では窒素イオン注入による表面硬化やガス窒化やプラズマ窒化による表面硬化などが行われています。特に、工具や金型といった用途に関しては、表面硬化や耐摩耗性の改善が要求されており、表面硬化や表面硬化層へ薄膜形成を行う複合硬化処理が施されています。また、TiNやCrNなどをはじめとする窒化物薄膜は硬質皮膜として工業的に用いられています。しかし、より高性能な特性を得るために天然には存在しない窒化炭素や窒化ホウ素といった新奇窒化物薄膜の合成が検討されています。
　本セミナーでは窒素を用いた表面改質として、窒化から窒化物薄膜形成について、特性や加工法や応用例などを紹介します。

[プログラム]
Ⅰ．ラジカル窒化
　　１．鉄系材料のラジカル窒化
　　２．アルミニウムおよびアルミニウム合金のラジカル窒化
　　　（チタニウム系材料および酸化物へのラジカル窒化）
　　３．ラジカル窒化の工業的応用
Ⅱ．ラジカル窒化と複合硬化処理
　　１．鉄系材料への複合硬化処理
　　２．アルミニウム系材料への複合硬化処理
　　３．複合硬化処理の工業的応用
Ⅲ．窒化物薄膜形成
　　１．窒化炭素膜
　　　　ａ．マイクロ波プラズマCVDによる合成
　　　　ｂ．バイアス印加型マイクロ波プラズマCVDによる合成
　　２． CNｘ膜
　　　　ａ． RFスパッタリングによる薄膜形成
　　３．窒化ホウ素膜
　　　　ａ． RFスパッタリングによる薄膜形成
　　　　ｂ．プラズマCVDによる合成の検討