ロールtoロールのウェット／表面処理技術
最新の有機EL照明用洗浄装置・技術を含め、ロールtoロール方式による、めっき・レジスト塗布・現像・エッチング・洗浄技術などについて、分かりやすく、かつ詳細に解説！
〜めっき／レジスト塗布／現像／エッチング／洗浄技術〜
主催：Ｒ＆Ｄ支援センター
日時：2012年11月26日（月） 12：30〜16：30
【講座のポイント】
エレクトロニクス分野において、フレキしプル基板/デバイスの製造技術の1つとしてロールtoロール方式の製造技術が脚光を浴びています。ロールtoロール方式により、高速・効率的な成膜/表面加工/パターニングが実現可能な他、供給がロールで行えることから容易になるためです。ロールtoロール方式の製造ラインに、成膜工程や表面加工やパターニングなどの各種工程が組み込まれますが、ここで欠かせないのがめっき、レジスト塗布、現像処理、エッチング、洗浄などのウェット処理（表面処理）です。本セミナーでは、ロールtoロール方式のウェット処理（表面処理）装置の業界トップメーカーである瀬戸技研工業が、最新の有機EL照明用洗浄装置・技術を含め、ロールtoロール方式による、めっき・レジスト塗布・現像・エッチング・洗浄技術などについて、分かりやすく、かつ詳細に解説します。
【プログラム】
１．ロールtoロールについて
２．ロールtoロール技術の基礎
2-1 ロールtoロールとリールtoロールの違い
2-2 コア巻き取りの場合−メリット・デメリット
2-3 リール巻き取りの場合−メリット・デメリット
2-4 発塵対策
３．ウェット処理プロセス
４．ロールtoロール方式の表面処理技術の基礎
4-1 種類
4-2 処理の形態
4-3 搬送方法
５．ロールtoロール方式のめっき処理技術と装置
5-1 めっきの種類と処理
5-2 各めっき装置
5-3 めっき装置でのトラブル事例
６．ロールtoロール方式のレジスト塗布・現像処理技術と装置
6-1 レジスト塗布の種類と処理
6-2 塗布装置
6-3 塗布装置でのトラブル事例
6-4 現像処理の種類と処理
6-5 各現像装置
6-6 現像装置でのトラブル事例
７．ロールtoロール方式のエッチング処理技術と装置
7-1 エッチング処理の種類と処理
7-2 各エッチング装置
7-3 エッチング装置でのトラブル事例
８．ロールtoロール方式の剥離処理技術と装置
8-1 剥離処理の種類と処理
8-2 各剥離装置
8-3 剥離装置でのトラブル事例
９．ロールtoロール方式の洗浄処理技術と装置
9-1 洗浄処理の方法と種類
9-2 フィルム式有機EL照明製造用洗浄装置
9-3 洗浄でのトラブル事例
10. ロールtoロール方式の表面処理技術の総括
【質疑応答・名刺交換】
